真空装置自动控制常用名词汇

[Kangwo Vacuum Network] 1.受控对象需要控制的真空设备或生产过程称为受控对象。例如，真空阀，真空泵，真空镀膜机，真空热处理炉等。2.测量设备测量控制变量的变化。例如：真空计，温度计，膜厚测量仪等。3.调节装置（regulator）将测量装置测量的控制量与真空过程中需要保持的给定值进行比较，得出偏差值，并根据设计的计算定律进行计算，并发送信号以使执行机构执行控制动作，以消除控制量与给定值之间的偏差。如模拟PID（比例，积分，微分）调节器，数字PID调节器（即微控制器，计算机）等。在真空装置的真空度控制中，通常与测量装置的真空计和真空度结合使用。调节执行器的阀门以形成压力控制器。 4.执行器接收调节装置发送的信号，并产生调节效果，以消除控制量与给定值的偏差。例如，调节真空室中的真空度的调节阀和调节加热温度的调节器属于这种类型的机构。 5.受控变量是指受控对象中需要控制的参数。例如：压力，温度，流量，膜厚等。6.由测量值测量设备测量的控制变量的实际值。 7.要求给定值的控制值保持恒定，或者规定值根据预定规则变化。 8.偏差测量值与给定值之差。 9.干扰干扰是使控制变量变化的因素。干扰有两种：一种是控制系统中每个链路产生的干扰，称为内部干扰，另一种是对控制系统外部系统的干扰，称为外部干扰。 10.反馈将输出信号发送回输入端子，以增强或减弱输入信号的效果，称为反馈。输入信号增强的地方称为正反馈，否则称为负反馈。负反馈主要用于自动控制系统中。 11.调整过程是指控制系统受到外部信号（给定值或干扰）后，原始平衡状态被破坏。由于自动控制装置的调节作用，控制量恢复到原始平衡状态，或过渡到新平衡的过程。 12.位置调整是指当控制量偏离给定值时，调节器使执行器完全打开或完全关闭的调整。例如具有上限和下限压力设置的真空继电器的压力调节。 13.比例调节器输出的信号与偏差的大小成正比，因此执行器的位置与偏差的大小相对应。它可以减小偏差，但不能完全消除偏差。常用的P（比例）表示。 14.比例积分调节器输出的信号不仅与偏差成正比，而且与偏差随时间的积分成正比，因此执行器可以根据偏差比和积分定律进行调节，这在理论上是零偏差调整。常用的PI（Proport-tional Ingral）表示。 15.比例积分微分调整是一种综合调整，结合了比例，积分和微分的三个调节规则。调节器输出的信号不仅与偏差的大小和偏差存在的时间长短有关，而且与偏差变化的速度有关。常用的PID（ProportionalIntergralDerivative）表示。 16.增加比例倍率Kp Kp可使静态偏差变小，但系统的稳定性变差，否则，系统的稳定性会降低。改善，但静态偏差变大。通常用调节器的比例放大率Kp的倒数d表示，称为比例。 17.积分时间T代表积分调节动作速度和强度的可调参数。在模拟积分调节器中，其值等于调节器积分电路的时间常数。 18.微分时间Td表示调节器中微分调节强度的可调节参数。在模拟差分稳压器中，其值等于稳压器差分电路的时间常数。 19.稳定性是指控制系统在干扰下结束过渡过程并达到平衡状态的能力。消除干扰后，系统可以恢复到稳定的原始平衡状态。 20.稳态精度是指系统处于平衡状态时，控制变量与给定值的偏差（即静态偏差）。 21.动态精度是指在给定信号的作用下系统随时间变化的精度。在固定值系统中，动态精度是过渡过程中的z *大动态偏差。 22，自动控制系统自动控制装置与被控对象形成一个自动控制系统，可以使被控对象按照预定的规律动作，并自动完成真空过程。如涂布机的微机控制系统。